Второй Cree не получилось

Наука и технологии
Материаловедение
«Эксперт» №45 (827) 12 ноября 2012

У второй отечественной научной школы карбида кремния, основоположником которой является Юрий Водаков, заведовавший лабораторией в Физико-техническом институте им. А. Ф. Иоффе РАН, тоже очень непростая история.

Свою ростовую технологию группа Водакова разработала несколькими годами раньше, чем появился метод ЛЭТИ, — в 1970 году (она получила название «сэндвич-метод»). В 1999 году ее попытался коммерциализировать американский специалист по росту кристаллов и предприниматель Хейкки Хелава. К тому времени Cree уже построила на карбиде кремния успешный бизнес, поэтому Хелава не составило труда привлечь под эту тему деньги частных инвесторов и инвестфондов. Созданная им фирма Fox Group намеревалась стать Cree номер два — выращивать кристаллы карбида кремния промышленным способом, взяв за основу уже не ростовую технологию ЛЭТИ, а сэндвич-метод Института им. Иоффе. Но прошло три года, а рыночный продукт создать так и не удалось. Хелава пришлось свой проект закрыть.

В этот момент российскую часть команды проекта и развернутые на территории ЛОМО ростовые мощности подхватила компания «Нитридные кристаллы», которую создал выходец из Института им. Иоффе Юрий Макаров. На создание промышленной технологии было потрачено еще пять лет, в этом процессе активно участвовали практически все оставшиеся в России разработчики сэндвич-метода. В конечном итоге их усилия увенчались успехом.

С 2010 года «Нитридные кристаллы» выращивают кристаллы карбида кремния диаметром 75 мм. По качеству этот материал не намного хуже того, что выпускает фирма Cree. Однако производственные мощности и объемы российского и американского бизнеса не сопоставимы. В распоряжении нашей компании менее 10 промышленных ростовых установок, а карбид-кремниевые подложки она поставляет «штучно» — для материаловедческих исследований и опытных экземпляров электронных устройств.

В 2012 году «Нитридные кристаллы» разработали новую ростовую установку и процесс получения 100-миллиметровых кристаллов карбида кремния. Сейчас компания ищет партнеров для создания в России массового производства карбид-кремниевых подложек.

Другими словами, в том, что касается ростовых компетенций, наши предприниматели, стартовавшие намного позже Cree, отстают от мирового лидера всего на два шага. Во всем остальном — навсегда.