Строительство цеха по производству трифторида азота (ТФА) началось на Сибирском химическом комбинате (СХК) в Северске (Томская область). Новое производство будет запущено на сублиматном заводе, входящем в состав СХК, в декабре 2005 года. Его проектная мощность составит 300 тонн газа в год.

По своим характеристикам ТФА относится к так называемым электронным газам и применяется при плазмохимическом травлении в производстве полупроводниковых микросхем и жидкокристаллических дисплеев. В отличие от перфторуглеродов (электронных газов предыдущего поколения) трифторид азота позволяет минимизировать размеры изготавливаемых микросхем.

Как сообщил и. о. директора сублиматного завода Александр Ледовских, проект строительства цеха разработан специалистами Научно-исследовательского и конструкторского института СХК на основе патента ООО "Ньюкем" (Санкт-Петербург). Впервые о строительстве цеха было объявлено в середине мая на выставке-презентации Томской области в Шэньяне (Китай). Александр Ледовских отметил, что производство будет полностью ориентировано на экспорт. "Потребителей трифторида азота в России нет", - подчеркнул он.

По данным межрегионального маркетингового центра "Москва", на сегодняшний день в России производством ТФА занимается только Государственный институт прикладной химии (Санкт-Петербург). Мировым лидером в производстве этого газа является американская фирма Air Products and Chemicals, Inc., занимающая немногим меньше половины мирового рынка ТФА. Ее основные конкуренты - японские Konto Denka Koge, Mitsui Chemical и Central Glass.

По информации Александра Ледовских, первая партия трифторида азота будет выпущена томским предприятием в конце 2005 года. На проектные мощности завод выйдет в 2006 году.